新材料半導(dǎo)體生產(chǎn)的廢氣怎么處理好呢？
2022-07-29(1249)次瀏覽
隨著科技的發(fā)展，目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應(yīng)用范圍更廣了，新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)投入高，產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的國(guó)際性強(qiáng)，而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分，在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面講解一下關(guān)于：新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣應(yīng)該怎么處理。
新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，萬(wàn)川環(huán)保采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來(lái)處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣：工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體四種，自身具有的溶解特性，半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。
RTO設(shè)備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù)，升溫能源一般是電和天然氣，其高溫需高達(dá)700度或者以上，雖然溫度需高達(dá)700度左右，但是其實(shí)消耗的能源并不多，設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。
萬(wàn)川環(huán)保半導(dǎo)體材料廢氣處理設(shè)備的凈化效率可維持穩(wěn)定在99%以上。
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